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　　跟着AI、人形呆板人等行业的产生式发扬，半导体财产迎来巨量伸长空间，估计2030年其市集领域将打破1万亿美元大合。

　　半导体财产是以硅、锗、氮化镓等半导体原料为根底的策略性支柱财产，也是楷模的手艺蚁集、资金蚁集型财产。其缔制工艺丰富，涵盖硅片缔制、芯片安排、光罩制制、芯片缔制、封装测试等枢纽的上千道工序，下逛涉及集成电道、显示面板、医疗强壮、消费电子、照明、通讯、光伏、新能源汽车等繁众行使规模。

　　因为半导体晶圆制程的陆续发扬，线宽越来越窄，对坐褥工艺的央浼也越来越高，这些要素都对半导体晶圆工场各个别系的接连无阻碍运转才具以及所供给给坐褥工艺制程合联的原料的品德提出了更高的央浼。

　　正在半导体坐褥缔制进程中，电子气体是仅次于硅片的第二大缔制原料，品类众达上百种，被誉为“芯片血液”。电子气体包含电子大宗气体和电子特种气体两大类，个中电子大宗气体是坐褥缔制进程中的情况气、偏护气和载体，而电子特种气体紧要行使于光刻、刻蚀、成膜、洗濯、掺杂、浸积等芯片缔制工艺之中PG电子。与此同时，正在半导体坐褥缔制进程中，还能够形成酸性废气、碱性废气、有机废气、凡是尾气等气体。

　　电子气体与废气众为易燃易爆、有毒无益、腐化性、壅闭性气体，而半导体缔制车间众为无尘密闭情况，且装备回风体系，一朝产生危害气体显露，哪怕口角常细微的显露，也能够惹起爆炸、职员壅闭或中毒变乱。于是，用气平安题目阻挡藐视，务必举办气体检测。《特种气体体系工程手艺准绳》(GB50646-2020)中有强制性规则，储蓄、输送、行使特种气体的下列区域或处所应筑设特种气体探测装备：

　　②坐褥工艺开发的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐化性气体阀门箱的排风管口处，工艺开发的排风管口处;

　　汉威科技集团推出的半导体工场气体检测仪GD-HS10，是一款特意用于检测半导体工场中可燃、有毒、无益气体显露的高端产物，具有高活络度、高牢靠性、低浓度检测等特质，可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体，实用于半导体、液晶面板、光伏和电池缔制等行业。据悉目前该产物一经胜利行使于众家半导体行业缔制工场，并取得用户的相同认同。

　　高精度细微显露检测。每种气体都有对应的温度积累及统一算法，零点自愿校准，可杀青精准细微显露检测，机能达行业领先秤谌。

　　维持上百种气体。维持电化学、催化燃烧、光学等众种道理传感器，维持上百种气体，可知足客户天性化检测需求。

　　电磁泵吸安排。采用电磁泵吸道理吸气，磨损小，寿命长，流量恒定，30米超上进气管，疾插接头安排，安置便捷。

　　点阵式LCD大屏显示。界面美丽易读，气体名称、浓度、报警环境等众所周知，适合邦内用户习俗。

　　后摩尔时期，半导体行业的坐褥工艺难度陆续加大，坐褥缔制本钱陆续升高，电子特种气体的本钱占比高达13%，局限高端进语气体价值相当腾贵，每公斤价值可达数万元，气体显露不只会变成产业吃亏，还能够变成工伤变乱。正在此靠山下，半导体工场气体检测仪将成为刚需产物，并正在半导体企业平安坐褥和降本增效进程中阐明首要影响。